В последние два года 30-летний учёный Рустам Амашаев сосредоточен на разработке технологической платформы атомно-слоевого осаждения. Она позволяет синтезировать тонкие плёнки разного назначения на нанометровом уровне.
Чтобы не диктовали цены
«Платформу можно использовать для микроэлектронной промышленности, поскольку она позволяет синтезировать диэлектрические, полупроводниковые и металлизированные покрытия. За рубежом есть модели оборудования такого класса, однако с недавних пор ввели санкционные ограничения, не позволяющие импортировать установки атомно-слоевого осаждения (АСО) в Россию. Мы спроектировали и изготовили технологическую платформу для внутреннего рынка», – объясняет Рустам Амашаев.
По его словам, результаты исследования решат проблему импортозамещения. В последнее десятилетие технология АСО всё активнее используется в микроэлектронике, поэтому развитые страны более интенсивно ведут исследования в этой области.
Создаются полупроводниковые, диэлектрические и барьерные тонкоплёночные структуры толщиной <100 нм, поскольку потребности в современной электронной промышленности требуют массового производства тонких и конформных пленок с прецизионным (очень точным) контролем толщины.
Для тонкопленочного осаждения нужна соответствующая инфраструктура. Научные исследования большинство зарубежных и российских научно-образовательных организаций проводят на установках Picosun и Beneq из Финляндии и Veeco из США. Эти компании - монополисты на рынке вакуумного оборудования для АСО. Они вынуждают заказчиков платить существенные суммы. Например, базовая модель поставляется за 250 тыс. $, тогда как себестоимость не превышает 30 тыс. $.
В условиях нарастающего санкционного давления покупать это оборудование мы либо совсем не сможем, либо стоимость значительно вырастет из-за усложнения логистики через третьи страны.
Придумать и победить
Создание и развитие подобного класса вакуумного оборудования для научных работ и производственных цепочек в тонкой электронике имеет стратегическое значение для нашей страны, считает Амашаев.
Он спроектировал и изготовил прототип установки базового типа для термического атомно-слоевого осаждения. Грант на это выделил на конкурсной основе Фонд содействия инновациям по программе «Старт-1».
Рустам уверен, что сейчас для молодых учёных открываются хорошие перспективы. К примеру, в Дагестанском государственном университете есть практически вся необходимая научно-техническая инфраструктура для работы по проектам. Государственная поддержка поступает по федеральным программам Российского научного фонда, Фонда содействия инновациям и другим.
Конечно, число выдаваемых грантов в масштабах страны ограничено, и надо хорошо постараться, чтобы победить.
«Вместе с тем, с каждым годом государственное финансирование фондов растёт, поэтому надеюсь, что в будущем, шансов на выигрыш у участников будет больше», - делится учёный.
Найти инвестора, готового профинансировать наукоёмкий проект с готовым бизнес-планом, по мнению Амашаева, сложно, поскольку в бизнесе наука и технические возможности продукта уходят на второй план. Первостепенную роль для инвестора играет выручка. Однако у Рустама уже есть договорённости с несколькими малыми инновационными предприятиями, включившими его платформу в список закупаемого в долгосрочной перспективе оборудования.
Реактивы на заброшенном заводе
Рустам Амашаев родился в селении Бабаюрт. Интерес к науке у него пробудился в школе. В 10 лет он переехал в Махачкалу и долгое время жил у дедушки в микрорайоне «Ватан», недалеко от заброшенного после перестройки предприятия «Радиозавод».
«Радиозавод меня всегда удивлял своим масштабом, большим числом корпусов, обилием всевозможного инвентаря и, вместе с тем, тишиной. Много не распакованных радиоэлектронных узлов, пробирок лежали нетронутые на своих местах, казалось, что время там остановилось. Я часто заглядывал на заброшенный склад реактивов. Школьные познания позволили мне провести несколько опытов. С этого момента я сильно увлёкся химией», – признаётся Рустам.
Он поступил в ДГУ в 2012 году на специальность «Фундаментальная и прикладная химия». Окончив специалитет в 2017 году, пошёл в аспирантуру, защитил кандидатскую диссертацию и теперь работает доцентом на кафедре «Физическая и органическая химия» химического факультета родного университета.
Темой диссертации был «Синтез тонких плёнок карбида кремния на кремнии с использованием метода молекулярного наслаивания». На выполнение экспериментов, написание и организационные мероприятия по защите он потратил почти шесть лет.
Рустам уверен, что учёные нужны России. Однако необходимо скорректировать критерии оценки работы учёного: сделать важным не написание очередной статьи, а получение реального и полезного для общества и страны результата. К примеру, сделать обязательным взаимодействие с предприятиями для решения реальных задач.